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關於Euv的科普知識

關於Euv的科普知識

Euv光刻機是幹什麼用的

發表於：2018-11-30

光刻機是晶片製造的核心裝置之一。在加工晶片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小後對映到矽片...
euv光刻機原理

發表於：2021-07-10

euv光刻機原理是接近或接觸式光刻通過無限靠近，複製掩模板上的圖案；直寫式光刻是將光束聚焦為一點，通過運動工件臺或鏡頭掃描實現任意圖形加工。投影式光刻因其高效率、無損傷的優點，是集...

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