國內真正光刻機龍頭上市公司有哪些

富創精密

半導體設備精密零部件公司專注於金屬材料零部件精密製造技術，主要產品包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四大類，應用於半導體設備、泛半導體設備及其他領域。公司是全球爲數不多的能夠量產應用於7納米工藝製程半導體設備的精密零部件製造商。

藍英裝備

智能製造+光刻機清洗+機器人及應用公司在人工智能產業上有技術儲備，清洗機所使用的SCARA機器人爲自主研發，設計，製造。同時也儲備了適用於工業4.0的相關技術。瑞士子公司UCM AG爲ASML及其供應商提供極紫外光刻機（EUV）的光學系統相關關鍵部件的清洗設備。

張江高科

參股上海微電子+光刻機+張江科學城+創投網絡傳聞上海微電子和HW在28納米DUV研發方面已取得了重大進展，公司間接持有上海微電子14.21%股權。公司旗下微裝公司是國內唯一一家研發、生產以及銷售高端光刻機的企業，也是全球第四家生產IC前道光刻機的企業。在先進封裝光刻機等領域，其國內市場佔有率超過80%，全球市場佔有率爲40%。