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關於Euv的科普知識
關於Euv的科普知識
Euv光刻機是幹什麼用的
發表於:2018-11-30
光刻機是芯片製造的核心設備之一。在加工芯片的過程中,光刻機透過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫着線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小後映射到硅片...
euv光刻機原理
發表於:2021-07-10
euv光刻機原理是接近或接觸式光刻透過無限靠近,複製掩模板上的圖案;直寫式光刻是將光束聚焦爲一點,透過運動工件臺或鏡頭掃描實現任意圖形加工。投影式光刻因其高效率、無損傷的優點,是集...
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