asml光刻機是幹什麼用的

光刻機是芯片製造的核心設備之一。

在加工芯片的過程中，光刻機透過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫着線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小後映射到硅片上，然後使用化學方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。

光刻機的結構組成：

1、測量臺、曝光臺：是承載硅片的工作臺。

2、激光器：就是光源，光刻機核心設備之一。

3、光束矯正器：矯正光束入射方向，讓激光束儘量平行。

4、能量控制器：控制最終照射到硅片上的能量，曝光不足或過足都會嚴重影響成像質量。

5、光束形狀設定：設定光束爲圓型、環型等不同形狀，不同的光束狀態有不同的光學特性。

6、遮光器：在不需要曝光的時候，阻止光束照射到硅片。

7、能量探測器：檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求，並反饋給能量控制器進行調整。

8、掩模版：一塊在內部刻着線路設計圖的玻璃板，貴的要數十萬美元。

9、掩膜臺：承載掩模版運動的設備，運動控制精度是nm級的。

10、物鏡：物鏡用來補償光學誤差，並將線路圖等比例縮小。

11、硅片：用硅晶製成的圓片。硅片有多種尺寸，尺寸越大，產率越高。

12、內部封閉框架、減振器：將工作臺與外部環境隔離，保持水平，減少外界振動干擾，並維持穩定的溫度、壓力。