1、化合物製造:化肥、氨、硝酸等化合物的製造。
2、惰性保護:惰性保護介質,速凍食品。
3、製冷劑:低溫粉碎等的製冷劑、冷卻劑。
4、電子工業:電子工業中的外延、擴散、化學氣相澱積、離子注入、等離子幹刻、光刻等。
5、標準物:用作標準氣、校正氣、零點氣、平衡氣等。